设备说明：
该设备是参考国外先进技术，研制开发的一种物理气相沉积（PVD）真空镀膜设备，可同时安装两至四种不同纯金属或合金靶材，进行单层或多层（纳米）膜的镀制。适用于各类钻头、铣刀、齿轮刀具、拉刀、丝锥、剪刀、刮面刀片、铸模、注塑模、磁粉成型模，冲剪模等。通过对工件表面在物理、化学、机械、颜色等方面的改性，达到耐磨、超硬、自润滑的效果。
设备说明：
该设备是参考国外先进技术，研制开发的一种物理气相沉积（PVD）真空镀膜设备，可同时安装两至四种不同纯金属或合金靶材，进行单层或多层（纳米）膜的镀制。适用于各类钻头、铣刀、齿轮刀具、拉刀、丝锥、剪刀、刮面刀片、铸模、注塑模、磁粉成型模，冲剪模等。通过对工件表面在物理、化学、机械、颜色等方面的改性，达到耐磨、超硬、自润滑的效果。
主要特点：
1、 采用反应气体等离子源辅助沉积，对工件进行预清洗及镀膜时的辅助沉积；
2、 采用大功率的脉冲偏压电源，使工件与膜层获得更好的结合力；
3、 采用多套孪生靶及弧，可同时安装2~4种不同纯金属或合金靶材，获得复合纳米镀层；
4、 工件架采用公、自转结构，承重能力强及耐高温，并可移动出腔体，方便装卸比较重的模具；
5、 触摸屏+PLC，可实现全自动控制，自动/手动随时切换。
| JYD系列硬质膜层（刀铣具）真空镀镀膜机 型号及技术参数 |
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| 性能 型号 | JYDC-9010 | JYDC-1012 | JYDC-1213 |
| 镀膜室尺寸 | Ф900×H1000mm | Ф1000×H1200mm | Ф1200×H1300mm |
| 电源类型 | 脉冲偏压电源、电弧靶电源、脉冲电弧靶电源、离子离化电源 | ||
| 真空室结构 | 立式前开门单门、双门结构、后置抽气系统，卧式、滚镀、侧置抽气系统 | ||
| 真空室材质 | 全优质不锈钢材质、双层室体 | ||
| 极限真空 | 8.0X10-4Pa | ||
| 抽气时间 | 从大气抽至8.0×10-3Pa≤16分钟 (空载） | ||
| 真空获得系统 | 扩散泵或分子泵+罗茨泵+机械泵+维持泵（具体型号可根据客户的要求进行配置） | ||
| 制膜种类 | 金属膜、反应膜、化合物膜、多层膜、半导体膜、超硬膜 | ||
| 多弧靶类型 | 圆型60-100电弧靶、矩型电弧靶、圆柱型电弧靶、电磁电弧靶 | ||
| 电弧电源功率及电弧靶数量 | 根据不同镀膜工艺和客户的需求进行选配 | ||
| 偏压电源 | 30KW/1台 | 40KW/1台 | 50KW/1台 |
| 工件转架 转动方式 | 行星式公自转、变频调速（可控可调） | ||
| 工艺气体 | 3路或4路工艺气体流量控制及显示系统 选配自动加气系统 | ||
| 冷却方式 | 水循环冷却方式，另需配冷却水塔或工业冷水机或深冷系统。（客户提供） | ||
| 控制方式 | 手动/自动一体化方式、触摸屏操作、PLC或计算机控制 | ||
| 整机总功率 | 55KW | 70KW | 90KW |
| 报警及保护 | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警，并执行相应保护措施及电气联锁功能。 | ||
| 设备占地面积 | W2m×L3m | W3m×L4m | W4.5m×L6m |
| 其他技术参数 | 水压≥0.2MPa、水温≤25℃、气压0.5-0.8MPa | ||
| 其它机型 | 可以按照客户需求针对产品“量身定做”设计专用镀膜机 | ||
