产品描述:光学专用镀膜机是专为望远镜、后视镜、眼镜片、等等镀膜而设计,可在玻璃镜片表面镀铝、镍、铜、铬、不锈钢等金属或合金。分为电子离子束和中频磁控溅射(制镜片)两种系列机型。
主要特点:
结构简单合理、装架方便,生产效率高,占地面积小,操作简单。
主要配置:
1、采用立式箱型结构,壳体采用碳钢制造;
2、真空系统采用扩散泵、罗茨泵、机械泵抽气系统;
3、采用一套电阻蒸发系统或平面移动靶磁控溅射系统;
4、触摸屏全自动控制系统
规格、技术参数:
光学镀膜机主要技术参数 | ||||||
性能 型号 | JYG-600 | JYG-800 | JYGG-1000 | JYG-1300 | JYG-1350 | |
真空室尺寸 | Φ600X750 | Φ800X900 | Φ1000X1300 | Φ1300X1350 | Φ1350X1500 | |
结构型式 | 立式 | |||||
工件架结构 | 球面拱形 | 球面拱形、行星可选其一 | ||||
夹具转速 转/分 | 0-45R/min 可调 | |||||
烘烤温度℃ | 最高温度300℃ 可调,发热元件管状加热器或溴钨灯 | |||||
电阻蒸发源 | 2组 每组5KW | 2组 每组2KW | ||||
电子束蒸发源 | E型电子枪;束偏转角270º,功率6KW | E型电子枪;束偏转角270º,功率8KW | ||||
离子轰击 | 直流电压3KV,功率0.6KW,棒状阴极 | |||||
光学膜厚监控系统 | 膜厚控制仪MKG-500或GMHK9704,电色仪:WDG-30光栅单色仪 | |||||
充气系统 | 自动压强控制仪 | |||||
真空系统(可根据用户要求配置) | 2X-30旋片泵 KT-400扩散泵或 F-250涡轮分子泵 |
2X-70旋片泵 2X-4旋片泵 KT-500扩散泵或 F-400涡轮分子泵 |
2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630扩散泵 ZJ-300罗芡泵 |
2X-70旋片泵 2X-8旋片泵 KT-630扩散泵 ZJ-600罗芡泵 |
2X-70旋片泵 2X-15旋片泵 KT-630扩散泵 ZJ-600罗芡泵 |
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极限压力Pa |
≤3X10-4
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恢复真空时间(空载,从大气抽至5X10-3Pa) | ≤15分钟 |