型号
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JYZ-1400
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JYZ-1600
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JYZ-1800
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JYZ-2000
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镀膜室内尺寸(mm)
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Φ1400×1800
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Φ1600×1900
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Φ1800×2000
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Φ2000×2200
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工件架转径×轴长× 轴数
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Φ450×1620×6
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Φ500×1720×6
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Φ780×1820×8
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Φ960×2000×8
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抽速(新机空载)
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大气抽至2×10-2Pa小于7分钟
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大气抽至2×10-2Pa小于10分钟
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极限真空(新机空载)
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8×10-4Pa
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名义功率
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80KVA
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100KVA
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总重量(Kg)
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7120
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8000
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8600
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9960
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设备尺寸(M)
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4.6 X 6 X 2.85
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5 X 7 X2.85
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6 X 8 X 2.85
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8 X 8 X3
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