1. 可镀制高级电器和通讯用触点材料，在长扁丝表面上镀金膜；在柔性衬底、玻璃衬底上镀CdTe/CdS；在SiC丝上镀钛合金等材料
2. 矩形磁控靶两套，绕线筒溅射成膜
3. 转盘支架上加直流负偏压
4. 射频清洗系统，用于样品反溅清洗
5. 绕线筒的选材和工作方式满足金属丝材（根据客户要求调整）的使用，考虑其热胀冷缩对丝材的影响
基本参数：
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炉体尺寸 |
Ф1100XH950 |
有效空间 |
Ф750XH500 |
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应用技术 |
IET+SmallARC |
靶材数量 |
10Pcsxφ100 |
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标准涂层 |
TiN, CrN, AlCrN, etc. |
其他复合涂层 |
TiAlCrN, TiSiN,TiAlCN,etc. |
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生产周期 |
5小时/炉 |
外围尺寸 |
L4500XW2650XH2400mm |
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使用范围 |
贴片电阻，贴片电容，复合金触点，3C线路板，工件等 |
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