医疗器械PVD涂层设备
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设备特点：
1. 真空室的真空密封和室内运动部件的设计和用材充分考虑可承受高温,可镀制超硬涂层。
2. 所镀膜层具有更高的膜基结合强度,更光滑的涂层表面和更好的韧性，以及更均匀的涂层厚度分布。
3. 采用全自动控制系统，极大地提高了工艺稳定性。
4. 大炉腔设计，真空室尺寸φ0800×H750mm，并且配备可移出式下转架，操作便捷，实现快速的炉次切换，保证了超高的生产效率。
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炉体尺寸（mm） |
φ1000*H1200 |
有效空间 |
φ850*H750 |
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工件最大直径*数量 |
φ150*12个 |
抽气时间 |
大气到6X10-3 <15分钟 |
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工作电压/频率 |
380V/50Hz |
实际功率 |
70KW |
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应用技术 |
HCD+ARC |
靶材数量 |
12个 |
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极限压力 |
5.0*10-4Pa |
漏率 |
<10-3Pa.L/s |
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标准涂层 |
TiN、CrN、TiCN、AlTiN等 |
其它复合涂层 |
TiAlCrN、TiSiN、TiCrN、DLC等 |
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工件转架结构 |
下转架结构 |
真空室结构 |
立式单开门 |
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电源类型 |
弧电源、脉冲偏压电源、电子枪电源 |
真空系统 |
分子泵、罗茨泵、直联泵 |
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生产周期 |
3-6小时/炉 |
外围尺寸 |
L4200*W2900*H2600mm |
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产量/炉 |
铣刀φ10*70 900 |
配套条件 |
循环水压力：2-3KG/CM3 |
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刀粒φ18*6 6600 |
水量：10T/H |
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滚刀φ80*80 68 |
压缩空气：4-6 KG/CM3 |
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模具 500KG |
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控制方式 |
PLC+触摸屏 组态软件 |
工作气体 |
Ar、N2、O2、C2H2等 |
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工业PC+PLC+触摸屏 |
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自己开发的镀膜专用软件 |
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适用范围 |
适用于医疗器械、注塑、五金、压铸、冲压、成型等模具，各类零件、配件及切削刀具等 |
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备注 |
真空室尺寸，外围尺寸，设备外观等可按客户产品或及特殊工艺要求订做 |
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