产品名称:JYL系列连续镀膜生产线
主要用于压加力板材、玻璃、陶瓷、手机壳、电脑、PC、PET等表面磁控溅射高质量、多功能金属膜、防干扰电磁屏蔽膜(EMI)、反应膜、复合膜、透明导电膜(ITO)、抗反射膜(AR)、增反射膜等。具有大吞吐量连续式磁控金属化生产,采用同行业先进的生产工艺,极大地提高了膜层与工件的结合力、附着力。连续式自动生产线保证了产品的一致性与稳定性,全制程无废气、废水排放,产品符合欧洲环保法要求。
特点及基本参数:
●卧式线体结构,可实现单面同时镀膜
●生产效率,最快速度达1分钟/节拍
●模组化设计,维护方便
●镀膜工艺成熟,成品率高
●直流磁控溅射阴极可随客户要求选择
●真空系统由机械泵、罗茨泵、扩散泵(分子泵)组成
●线体尺寸可随客户要求定做
基本配置:生产线由基片翻转、基片清洗、预抽室、缓冲室、镀膜室、输出缓冲室,成品预抽室、卸载翻转机架和自动控制系统组成。
技术参数:
幕墙玻璃磁控溅射镀膜设备主要技术参数 | ||||||
型号 | JYCL-2000 | JYCL-2500 | JYCL-3300 | JYCL-2000 | JYCL-2500 | JYCL-2500 |
可镀玻璃最大尺寸 | 1500X2000 | 1880X2440 | 2440X3300 | 1500X2000 | 1880X2440 | 2440X3300 |
生产节拍(分钟/片) | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
极限压力(Pa) |
2X10-3
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2X10-3
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2X10-3
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2X10-3
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2X10-3
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2X10-3
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靶数量(个) | 3 | 3 | 33 | 3 | 3 | 3 |
溅射功率(KW) | 80X3 | 80X3 | 100X3 | 80X3 | 80X3 | 100X3 |
装机功率(KW) | 300 | 380 | 420 | 200 | 260 | 280 |
真空室数量(个) | 9 | 9 | 9 | 4 | 4 | 4 |
其中溅射室数量(个) | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 | 3 |
控制方式 | PCL | PCL | PCL | PCL | PCL | PCL |
备注 | 水平式双端 | 水平式单端 |