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型号	JYDC-1820
真空室尺寸	1800×2000mm
电源类型	电阻加热钨丝蒸发变压器电源、高压离子轰击电源、可控硅电源
真空室结构	立式双开门、立式单开门、卧式单开门、抽气系统
真空系统	机械泵＋罗茨泵＋扩散泵＋维持泵（或选配：深冷系统）
极限真空	8×10-4 pa（空载、净室）
抽气时间	空载大气抽至5×10-2pa小于6分钟
工件旋转方式	6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速
控制方式	手动＋半自动＋全自动一体化/触摸屏＋PLC
备注	真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做

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