| 真空室尺寸 |
Ф1600×H1800mm |
| 制膜种类 |
金色氮化钛、黑色碳化钛、七彩氧化钛、耐磨膜、超硬膜、金刚石膜、金属装饰膜等 |
| 电源类型 |
直流电源、中频电源、电弧电源、灯丝电源、活化电源、脉冲偏压电源 |
| 靶类型 |
多弧靶，选配中频孪生柱靶或平面靶 |
| 真空室结构 |
立式前开门结构（双层水套式或水槽式冷却）、后置抽气系统 |
| 真空系统 |
机械泵＋罗茨泵＋扩散泵/分子泵＋维持泵 |
| 加热系统 |
常温至350度可调可控（PID控温），不绣钢加热管加热 |
| 充气系统 |
质量流量控制仪（1-4路） |
| 极限真空 |
6×10-4pa（空载、净室） |
| 抽气时间 |
空载大气抽至5×10-3pa小于13分钟 |
| 保压率 |
1h≤0.6pa |
| 工件旋转方式 |
上旋转或下旋转＋公自转变频无级可控可调，0-20转/分 |
| 控制方式 |
手动＋半自动/触摸屏＋PLC |
| 备注 |
真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |
